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株式会社愛知真空

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製品紹介・納入実績
スパッタ装置
平行移動式3元RFスパッタリング装置
矩形カソード W100xH500mmによる3元RFスパッタリング。
基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着させる。
RF・マイクロ波 プラズマCVD実験装置(平行平板型)
RF・マイクロ波プラズマCVD実験装置は、多種多様な実験に 応用可能。
カーボンナノ材料開発、炭素膜・窒化膜コーティング、マイクロ波表面波によるエッチングなどの実験装置として使用できる。
試験装置
真空蒸気圧送・ヒートショック試験装置
ワークを加熱し脱水と加熱ショックをあたえ、その後ワーク雰囲気を真空にし、蒸気を流量コントロールしながらワークに吸水を繰り返す試験装置。
新素材開発用試験ベンチ
新素材のエネルギー収支計測を行う開発用試験ベンチ
 
 
開発装置・オーダーメイド
新素材のエネルギー収支計測を行う開発用試験ベンチ
真空を破らずにロードロックチャンバーとプロセスチャンバー間で、ワークをやり取りするための機構や、真空成膜プロセス中の試料定速移動にも利用できる。
脱気搬送カセット
真空雰囲気や脱気した雰囲気で試験を行ったワークを、大気に触れずに搬送するカセット
真空後に窒素やアルゴンを充填する方式などワークによってオーダーにて製作
ガス濃度解析計
2種混合ガス濃度を常時測定する機器です。
ヘリウムガス+窒素や、ヘリウムガス+空気など、ヘリウム混合ガスの濃度測定に適しています。
その他
設備概略名称 試験環境  
真空 冷却 蒸気 オイル 流量 特殊
ガス
エネル
ギー
車載
ワーク
新素材開発用試験ベンチ 熱媒体による間接加熱・冷却を行い、微細H2Oミストによる吸水反応、脱水反応によるエナルギー計測を行う。新素材開発等に利用される。
新素材評価装置 脱水、吸水反応を繰返す新素材評価装置
ワーク耐久試験装置 ワークを加熱し真空空間にした後に、真空により蒸気を引き込み加湿と加熱を繰り返す耐久装置
模擬ガス触媒評価装置 ディーゼル車の排ガス・排熱模擬製造及び触媒効果試験装置
潤滑油供給装置 模擬エンジンとして、エンジンオイルを昇温/昇圧/循環させる試験装置
ギアポンプ耐久ベンチ 車載用ギアポンプに回転/給油を行う耐久試験装置
高圧ポンプ駆動装置 ドライソルベントを40MPaまで昇圧させワークへ供給し減圧循環させる試験装置
車載用Duty通電耐久装置 車載用ヒーターを数十台個別に、Duty周期にて50~200msの範囲で任意にDC電源をON_OFFさせる耐久装置
平行移動式3元RFスパッタ装置 全固体電池製造向け 3元RFスパッタ 基板A4サイズ真空搬送にて蒸着する装置
RF/マイクロ波P-CVD実験装置 平成24年度新あいち創造研究開発補助金事業(先端材料を製造するために薄膜を形成するCVD装置の研究開発)
搬送カセット 平成24年度ものづくり中小企業(高機能材料開発のための特殊雰囲気搬送機構の開発)

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