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株式会社愛知真空

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MPV- Move in parallel to in a Vacuum System -
新素材のエネルギー収支計測を行う開発用試験ベンチ
形式 MPV
概要 真空を破らずにロードロックチャンバーとプロセスチャンバー間で、ワークをやり取りするための機構や、真空成膜プロセス中の試料定速移動にも利用できる。
特徴 200x300mm の大型試料の搬送が可能。
基板を立てた形での試料移動機構である。防着板から剥がれ落ちたゴミなどが試料に載ることを避けることが出来る。
電源電圧 AC200V 単相2線式 50/60Hz(電源電圧変動:±10%)
最大電流 10A
2200×800×180 +5~+35℃/75%rhまで
装置本体外形寸法(W×H×Dmm) 2200×800×180
装置システム敷地寸法(W×Dmm) -
装置本体重量(kg) 80
装置に使用した環境条件
冷却 蒸気 オイル 特殊ガス エネルギー
           
需要種別 オーダー装置(ユーザーより要求仕様に基づき協同製作)

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